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1、Good is good, but better carries it.精益求精,善益求善。ESD靜電產(chǎn)品檢測(cè)規(guī)范-目的:1.1編擬本靜電防護(hù)外圍環(huán)境設(shè)施檢測(cè)辦法是要以一有系統(tǒng)之管制方式,以求達(dá)到本廠靜電防護(hù)設(shè)備之完善管理檢測(cè)系統(tǒng).1.2避免經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用,防護(hù)設(shè)備或材料由于自然或人為之破壞以致喪失其ESD作用.范圍:適用于XX電子有限公司,保護(hù)ESD敏感性電子組件及產(chǎn)品所使用的所有相關(guān)材料.3.權(quán)責(zé):3.1工程部:負(fù)責(zé)制訂靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)規(guī)范.3.2各相關(guān)部門:依循靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)辦法實(shí)施,及相關(guān)資料歸檔.4.參考文件:4.1ANSI/EIA-6254.2ANSI/ESDS2

2、0.20-19995.定義及相關(guān)朮語(yǔ):5.1ESD(ElectrostaticDischarge):靜電放電5.2EOS(ElectricalOverStress):電壓過(guò)應(yīng)力5.3CGP(CommonGroundPoint)共同接地點(diǎn)5.4EPA(ESDProtectedArea)靜電防護(hù)區(qū)6流程圖:6.1無(wú).7內(nèi)容7.1.導(dǎo)電地板測(cè)試FloorMaterialstestspec:ResistancetoGroundpoint:104106Resistancetoptotop:104106測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器(測(cè)試電壓:10V)7.1.1測(cè)試方法7.1.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥

3、至10伏檔位.7.1.1.2用潮濕的抹布將地面和雙錘擦拭干凈.7.1.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀,分別將雙錘放在地板上或一端放在地板上另一端接接地測(cè)試點(diǎn).(注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)90cm)7.1.1.4按住測(cè)試鍵(約3秒)后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.1.2作業(yè)規(guī)范7.1.2.1平均每1000平方英尺必須有壹個(gè)測(cè)試點(diǎn).7.1.2.2地板檢測(cè)及清洗周期為每30天1次.7.1.2.3地板清洗時(shí)需先用洗地機(jī)將地板澈底洗干凈,再進(jìn)行打臘將地板表面恢復(fù)原貌及光亮的最佳方式,打臘后的地板須經(jīng)ESD檢測(cè)合格方可.7.2ESD接地系統(tǒng)量測(cè)ESDCommonGroundtestspec:ESDGroundR

4、esistance:R10測(cè)試儀器:MK-8406數(shù)顯GroundSystemMonitor7.2.1測(cè)試方法7.2.1.1插上電源,按下極性選擇開關(guān),此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試,否則表示接線極性錯(cuò)誤.7.2.1.2開啟主機(jī)電源,此時(shí)屏幕顯示OPENFAIL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.7.2.1.3插入測(cè)試線,并將測(cè)試末端之鱷魚夾夾在欲測(cè)的接地在線.7.2.1.4警報(bào)聲隨即停止,此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及OK字樣.7.2.2作業(yè)規(guī)范7.2.2.1生產(chǎn)線ESD工作站變更時(shí),變更產(chǎn)線之部門應(yīng)及時(shí)通知部門ESD負(fù)責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè);否則后果由變更部門負(fù)責(zé).7.2.2.2ESD接地系統(tǒng)檢測(cè)周期為每30天1次.7.3設(shè)備

5、接地系統(tǒng)量測(cè)DeviceGroundtestspec:DeviceGroundResistance:R10測(cè)試儀器:MK-8406數(shù)顯GroundSystemMonitor7.3.1測(cè)試方法7.3.1.1插上電源,按下極性選擇開關(guān),此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試,否則表示接線極性錯(cuò)誤.7.3.1.2開啟主機(jī)電源,此時(shí)屏幕顯視OPENFAIL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.7.3.1.3插入測(cè)試線,并將測(cè)試末端之鱷魚夾夾在欲測(cè)試的機(jī)器外殼上7.3.1.4警報(bào)聲隨即停止,此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及OK字樣.7.3.2作業(yè)規(guī)范7.3.2.1生產(chǎn)線的設(shè)備變更時(shí),變更產(chǎn)線之部門應(yīng)及時(shí)通知部門ESD負(fù)責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè);否則后果由

6、變更部門負(fù)責(zé).7.3.2.2設(shè)備接地檢測(cè)周期為每30天1次.7.4靜電衣帽測(cè)試AntistaticSmocktestspec:ResistanceAntistaticSmocktop:106109測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器(測(cè)試電壓:100V)7.4.1測(cè)試方式7.4.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.4.1.2用潮濕的抹布將鉛錘擦拭干凈.7.4.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀,將衣服展開平放于普通絕緣桌面上.7.4.1.4分別將雙錘放在衣服的兩個(gè)袖口除處(注意兩錘間的距離保持在90cm內(nèi)).7.4.1.5按住測(cè)試鍵(約3秒)后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.4.2驗(yàn)收規(guī)范7.4.2

7、.1靜電衣帽驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)值為106109.7.4.2.2靜電衣帽驗(yàn)收量為5%(含100件內(nèi));驗(yàn)收時(shí)出現(xiàn)0.5%不良時(shí)應(yīng)及時(shí)給予判退貨.7.4.2.3在線作業(yè)員靜電衣檢測(cè)周期為每30天1次.7.5導(dǎo)電車測(cè)試ConductiveRacksMatstestspec:ResistanceConductiveRacksMatstop:104109測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器(測(cè)試電壓:100V)7.5.1測(cè)試方式7.5.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.5.1.2用潮濕的抹布將車子表面和鉛錘擦拭干凈.7.5.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀,分別將雙錘一端放在車子上另一端放在導(dǎo)電地板上.(注意兩測(cè)

8、試點(diǎn)的距離不可超過(guò)30cm)7.5.1.4按住測(cè)試鍵(約5秒)后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.5.2作業(yè)規(guī)范7.5.2.1導(dǎo)電車必須在規(guī)定的日期內(nèi)按控管標(biāo)簽準(zhǔn)時(shí)檢測(cè)檢測(cè),否則后果由使用部門負(fù)責(zé).7.5.2.2導(dǎo)電車的導(dǎo)電輪必須每30天清洗1次.7.5.2.3導(dǎo)電車檢測(cè)周期為每30天1次.7.6導(dǎo)電桌墊測(cè)試ConductiveTabletestspec:ResistanceTabletop:106109測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器(測(cè)試電壓:100V)7.6.1測(cè)試方法7.6.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.6.1.2用潮濕的抹布將桌墊表面和鉛錘擦拭干凈.7.6.1.3接表面阻

9、抗測(cè)試儀,分別將雙錘放在桌墊上或一端放在桌墊上另一端接ESD接地點(diǎn).(注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)90cm)7.6.1.4按住測(cè)試鍵(約5秒)后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.6.2作業(yè)規(guī)范7.6.2.1桌墊檢測(cè)周期為每個(gè)月1次.7.6.2.2導(dǎo)電桌墊必須經(jīng)1M的電阻接地,且每日上班前要對(duì)其進(jìn)行清潔.7.6.2.3工作臺(tái)或流水線之桌墊在2米內(nèi)必須有一接地線接地.7.7導(dǎo)電容器(料盒,導(dǎo)電箱)的測(cè)試AntistaticContainertestspec:ResistanceContainertop:104106測(cè)試儀器:簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀7.7.1測(cè)試方法7.7.1.1用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干

10、凈.7.7.1.2將表面阻抗測(cè)試儀放置與待測(cè)物體上(注意:測(cè)試儀背面導(dǎo)電軌要與被測(cè)物體充分接觸).7.7.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.7.2作業(yè)規(guī)范7.7.2.1所有物料在ESD防護(hù)區(qū)內(nèi)必須做好靜電防護(hù)動(dòng)作.(如:包裝或儲(chǔ)存時(shí)使用靜電屏蔽袋,翠盤,真空包裝袋,靜電泡棉;運(yùn)輸時(shí)使用靜電箱,導(dǎo)電料盒,導(dǎo)電車;維修及作業(yè)時(shí)使用導(dǎo)電毛刷,防靜電溶劑瓶,導(dǎo)電鑷子,防靜電套板).7.7.2.2所有容易產(chǎn)生靜電的物料或絕緣材質(zhì)必須使用離子風(fēng)扇.7.8其它靜電產(chǎn)品的測(cè)試屏蔽袋:1091011泡棉:1091011輸送帶:1091011毛刷:104106鑷子:104106溶劑瓶:

11、1091011手套:106109瓦楞紙:104106測(cè)試儀器:簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀7.8.1測(cè)試方法7.8.1.1用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干凈.7.8.1.2將表面阻抗測(cè)試儀放置待測(cè)物體上(注意:測(cè)試儀背面的導(dǎo)電軌要與被測(cè)物體充分接觸).7.8.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.8.2作業(yè)規(guī)范7.8.2.1ESD防護(hù)區(qū)外嚴(yán)禁使用不防靜電和靜電放電物質(zhì)來(lái)貯存(普通塑料袋,塑料盒,普通泡棉)所有容易產(chǎn)生靜電或靜電放電的物品(如:塑料袋,梳子)未經(jīng)ESD人員確認(rèn)嚴(yán)禁帶入ESD防護(hù)區(qū)內(nèi).7.8.2.2ESD防護(hù)區(qū)外物料包裝或儲(chǔ)存時(shí)使用靜電屏蔽袋,真空包裝袋;運(yùn)輸時(shí)使用靜電

12、箱,導(dǎo)電料盒,導(dǎo)電車.7.9各設(shè)備的EOS測(cè)試(烙鐵頭、輸送帶、屏幕接頭、電動(dòng)起子)7.9.1測(cè)試方法7.9.1.1取三用電表將指針播到AC250V以上檔位.7.9.1.2將紅棒接到待測(cè)設(shè)備外殼.7.9.1.3黑棒分別接觸電源接座的基準(zhǔn)線孔、大地孔及ESD接地線.7.9.1.4得到三個(gè)數(shù)值,記錄于EOS檢查記錄表.基準(zhǔn)線大地孔ESD接地線正常數(shù)值應(yīng)小5.5V(如果大于標(biāo)準(zhǔn)值既為漏電,原因是大地孔未接地)正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V7.9.2作業(yè)規(guī)范7.9.2.1每日上班前各線全能員必須對(duì)其在線治工具及進(jìn)行EOS檢測(cè),并認(rèn)真填寫記錄.7.9.2.2領(lǐng)班在線檢測(cè)過(guò)程如有發(fā)現(xiàn)漏電時(shí)應(yīng)

13、及時(shí)反應(yīng)給部門負(fù)責(zé)人.7.10靜電手環(huán)(腳環(huán))檢驗(yàn).7.10.1測(cè)試方法7.10.1.1將有線靜電環(huán)內(nèi)部金屬片緊貼檢驗(yàn)者手腕上,7.10.1.2靜電環(huán)鱷魚夾子與靜電儀夾子相交(手不要觸碰夾子相結(jié)處,以免測(cè)試不準(zhǔn)確)7.10.1.3另一只手按下“PRESSHERE”檢測(cè)結(jié)果如下:中間綠燈亮(GOOD)且有響聲:靜電環(huán)回路檢測(cè)正常左邊紅燈亮(HIGH):靜電環(huán)阻抗偏高右邊紅燈亮(LOW):靜電環(huán)阻抗偏低7.10.2作業(yè)規(guī)范7.10.2.1靜電手環(huán)的佩戴和檢測(cè)時(shí)內(nèi)部金屬片必須緊貼皮膚.7.10.2.2靜電環(huán)在作業(yè)當(dāng)中嚴(yán)禁擅自借給他人使用.7.10.2.3每次檢測(cè)前,請(qǐng)先用800Kohm和10Mohm標(biāo)準(zhǔn)電阻件對(duì)其靜電環(huán)測(cè)試儀進(jìn)行驗(yàn)證.7.11導(dǎo)電鞋檢驗(yàn).7.11.1測(cè)試方法7.11.1.1先將兩腳站于踏板上,按下測(cè)試按鈕.7.11.1.2亮綠燈(PASS)時(shí),表示導(dǎo)電鞋良好.7.11.1.3亮紅燈(HI-FAIL)或紅燈(LOW-FAIL)時(shí),表示導(dǎo)電鞋不良應(yīng)立即更換.HIFAIL:R35MPASS:750KR35MLOFAIL:R750K7.11.2作業(yè)規(guī)范7.11.2.1導(dǎo)電鞋檢測(cè)時(shí),請(qǐng)勿將鞋子濕水,以免測(cè)試不準(zhǔn)確.7.11.2.2所有人員(包括來(lái)賓)進(jìn)入EPA生產(chǎn)車間時(shí)必須做導(dǎo)電鞋檢測(cè),否則嚴(yán)禁入內(nèi).7.11.2.3導(dǎo)電

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