ESD靜電設(shè)備產(chǎn)品檢測(cè)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)

1、*1. 目的：1.1編擬本靜電防護(hù)外圍環(huán)境設(shè)施檢測(cè)辦法是要以一有系統(tǒng)之管制方式，以求達(dá)到本廠靜電防護(hù)設(shè)備之完善管理檢測(cè)系統(tǒng).1.2避免經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用，防護(hù)設(shè)備或材料由于自然或人為之破壞以致喪失其ESD乍用.2. 范圍：適用于XX電子有限公司，保護(hù)ESD敏感性電子組件及產(chǎn)品所使用的所有相關(guān)材 料.3. 權(quán)責(zé)：3.1工程部：負(fù)責(zé)制訂靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)規(guī)范.3.2各相關(guān)部門(mén)：依循靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)辦法實(shí)施，及相關(guān)資料歸檔.4. 參考文件：4.1 ANSI/EIA-6254.2 ANSI/ESD S20.20-19995. 定義及相關(guān)朮語(yǔ)：5.1 ESD(EIeCtroStatiC Dis

2、charge)：靜電放電5.2 EOS(EIeCtriCaI OVer Stress):電壓過(guò)應(yīng)力5.3 CGP(Common Ground Point共同接地點(diǎn)5.4 EPA(ESD PrOteCted Area) 靜電防護(hù)區(qū)6流程圖：6.1 無(wú).7內(nèi)容7.1.導(dǎo)電地板測(cè)試Floor MateriaIS test spec:ReSiStance to GroUnd point : 10 4 106 ReSiStance top to top :10 4 106 測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓:10V）7.1.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥至10伏檔位.7.1.1.2用潮濕的抹布將地面

3、和雙錘擦拭干淨(jìng).7.1.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀，分別將雙錘放在地板上或一端放在地板上 另一端接接地測(cè)試點(diǎn).（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)90cm）7.1.1.4按住測(cè)試鍵（約3 秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.1.2作業(yè)規(guī)范7.121平均每1000平方英尺必須有壹個(gè)測(cè)試點(diǎn).7.122地板檢測(cè)及清洗周期為每30天1次.7.1.2.3地板清洗時(shí)需先用洗地機(jī)將地板澈底洗干凈，再進(jìn)行打臘將地板表面恢復(fù)原貌及光亮的最佳方式，打臘后的地板須經(jīng)ESD僉測(cè)合格方可.7.2 ESD接地系統(tǒng)量測(cè)ESD Com mon Ground test spec:ESD GroUnd ReSiStance:R >1

4、0 測(cè)試儀器：MK-8406 數(shù)顯 Ground SyStem Monitor7.2.1測(cè)試方法7.2.1.1插上電源，按下極性選擇開(kāi)關(guān)，此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試，否則表示 接線極性錯(cuò)誤.7.2.1.2開(kāi)啟主機(jī)電源，此時(shí)屏幕顯示OPEN FAlL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.7.2.1.3插入測(cè)試線，并將測(cè)試末端之鱷魚(yú)夾夾在欲測(cè)的接地在線.7.2.1.4警報(bào)聲隨即停止，此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及 OK字樣.7.2.2作業(yè)規(guī)范7.2.2.1生產(chǎn)線ESDr作站變更時(shí)，變更產(chǎn)線之部門(mén)應(yīng)及時(shí)通知部門(mén) ESD負(fù) 責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè)；否則后果由變更部門(mén)負(fù)責(zé).7.2.2.2 ESD接地系統(tǒng)檢測(cè)周期為每30天1次.7.3設(shè)備接

5、地系統(tǒng)量測(cè)DeViCe Ground test spec:DeViCe Ground ReSiStance:R > 10 測(cè)試儀器：MK-8406 數(shù)顯 Ground SyStem Monitor731測(cè)試方法7.3.1.1 插上電源，按下極性選擇開(kāi)關(guān)，此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試，否則表示接線極性錯(cuò)誤.7.3.1.2開(kāi)啟主機(jī)電源，此時(shí)屏幕顯視OPEN FAIL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.7.3.1.3插入測(cè)試線，并將測(cè)試末端之鱷魚(yú)夾夾在欲測(cè)試的機(jī)器外殼上7.3.1.4警報(bào)聲隨即停止，此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及 OK字樣.732作業(yè)規(guī)范7.3.2.1 生產(chǎn)線的設(shè)備變更時(shí)，變更產(chǎn)線之部門(mén)應(yīng)及時(shí)通知部門(mén)ESD

6、負(fù)責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè)；否則后果由變更部門(mén)負(fù)責(zé).7.322設(shè)備接地檢測(cè)周期為每30天1次.7.4靜電衣帽測(cè)試An tistatic Smock test spec:69ReSiStance Antistatic Smock top :10 10 測(cè)試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓：100V）741測(cè)試方式741.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.741.2用潮濕的抹布將鉛錘擦拭干淨(jìng).7.4.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀，將衣服展開(kāi)平放于普通絕緣桌面上.7.4.1.4 分別將雙錘放在衣服的兩個(gè)袖口除處（注意兩錘間的距離保持在90c m 內(nèi)）.7.4.1.5按住測(cè)試鍵（約3秒）后,讀取儀器上所

7、顯示的數(shù)值.7.4.2驗(yàn)收規(guī)范697.4.2.1靜電衣帽驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)值為10 10 .742.2靜電衣帽驗(yàn)收量為5%（含 100件內(nèi)）;驗(yàn)收時(shí)出現(xiàn)0.5%不良時(shí)應(yīng)及時(shí)給予判退貨.742.3在線作業(yè)員靜電衣檢測(cè)周期為每30天1次.7.5導(dǎo)電車(chē)測(cè)試Con ductive RaCkS MatS test spec:ReSiSta nce Con ductive RaCkS MatS top :1049 10 測(cè)試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓：100V）7.5.1測(cè)試方式7.5.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.5.1.2用潮濕的抹布將車(chē)子表面和鉛錘擦拭干淨(jìng).7.5.1.3連接表面阻

8、抗 測(cè)試儀，分別將雙錘一端放在車(chē)子上另一端放在導(dǎo)電地板上.（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)30cm）7.5.1.4按住測(cè)試鍵（約5 秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.5.2作業(yè)規(guī)范7.5.2.1 導(dǎo)電車(chē)必須在規(guī)定的日期內(nèi)按控管標(biāo)簽準(zhǔn)時(shí)檢測(cè)檢測(cè)，否則后果由使用部門(mén)負(fù)責(zé).7.5.2.2導(dǎo)電車(chē)的導(dǎo)電輪必須每30天清洗1次.7.523導(dǎo)電車(chē)檢測(cè)周期為每30天1次.7.6導(dǎo)電桌墊測(cè)試Con ductive Table test spec:69ReSiSta nce Table top :10 10 測(cè)試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓:100V）761測(cè)試方法761.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏

9、檔位.761.2用潮濕的抹布將桌墊表面和鉛錘擦拭干淨(jìng).7.6.1.3 接表面阻抗測(cè)試儀，分別將雙錘放在桌墊上或一端放在桌墊上另一端接ESC接地點(diǎn).（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)90cm）7.6.1.4按住測(cè)試鍵（約5秒）后，讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.6.2作業(yè)規(guī)范7.6.2.1桌墊檢測(cè)周期為每個(gè)月1次.7.6.2.2導(dǎo)電桌墊必須經(jīng)1M的電阻接地，且每日上班前要對(duì)其進(jìn)行清潔7.623工作臺(tái)或流水線之桌墊在2米內(nèi)必須有一接地線接地.7.7導(dǎo)電容器（料盒，導(dǎo)電箱）的測(cè)試An tistatic Container test spec:46ReSiSta nce Con tai ner top :10

10、10 測(cè)試儀器：簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀7.7.1測(cè)試方法7711用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干淨(jìng).7712將表面阻抗測(cè)試儀放置與待測(cè)物體上（注意：測(cè)試儀背面導(dǎo)電軌要與被測(cè)物體充分接觸）.7.7.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.7.2作業(yè)規(guī)范7.721所有物料在ESD防護(hù)區(qū)內(nèi)必須做好靜電防護(hù)動(dòng)作.（如:包裝或儲(chǔ) 存時(shí)使用靜電屏蔽袋，翠盤(pán),真空包裝袋，靜電泡棉；運(yùn)輸時(shí)使用 靜電箱，導(dǎo)電料盒，導(dǎo)電車(chē)；維修及作業(yè)時(shí)使用導(dǎo)電毛刷，防靜電 溶劑瓶,導(dǎo)電鑷子,防靜電套板）.7.7.2.2 所有容易產(chǎn)生靜電的物料或絕緣材質(zhì)必須使用離子風(fēng)扇.7.8其它靜電產(chǎn)品的測(cè)試911泡棉：10 1

11、0 46毛刷：10 10 911溶劑瓶：10 10 46瓦楞紙：10 10 911屏蔽袋：10 10 911輸送帶：10 10 46鑷子：10 10 69手套：10 10 測(cè)試儀器：簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀7.8.1測(cè)試方法781.1用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干淨(jìng)781.2 將表面阻抗測(cè)試儀放置待測(cè)物體上（注意：測(cè)試儀背面的導(dǎo)電軌 要與被測(cè)物體充分接觸）.7.8.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.8.2作業(yè)規(guī)范7.8.2.1 ESD防護(hù)區(qū)外嚴(yán)禁使用不防靜電和靜電放電物質(zhì)來(lái)貯存（普通塑料袋,塑料盒,普通泡棉）所有容易產(chǎn)生靜電或靜電放電的物品（如: 塑料袋,梳子）未經(jīng)ESD

12、人員確認(rèn)嚴(yán)禁帶入ESD防護(hù)區(qū)內(nèi).7.8.2.2 ESD 防護(hù)區(qū)外物料包裝或儲(chǔ)存時(shí)使用靜電屏蔽袋，真空包裝袋；運(yùn)輸時(shí)使用靜電箱，導(dǎo)電料盒，導(dǎo)電車(chē).7.9各設(shè)備的EoS測(cè)試（烙鐵頭、輸送帶、屏幕接頭、電動(dòng)起子）7.9.1測(cè)試方法791.1取三用電表將指針播到 AC250以上檔位.7.9.1.2將紅棒接到待測(cè)設(shè)備外殼.7.9.1.3黑棒分別接觸電源接座的基準(zhǔn)線孔、大地孔及ESD接地線.7.9.1.4得到三個(gè)數(shù)值，記錄于EOS僉查記錄表.基準(zhǔn)線大地孔ESD接地線正常數(shù)值應(yīng)小5.5V（如果 大于標(biāo)準(zhǔn)值既為漏電，原因 是大地孔未接地）正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V7.9.2作業(yè)規(guī)范7.9.2

13、.1每日上班前各線全能員必須對(duì)其在線治、工具及進(jìn)行EOS僉測(cè),并認(rèn)真填寫(xiě)記錄.7.9.2.2 領(lǐng)班在線檢測(cè)過(guò)程如有發(fā)現(xiàn)漏電時(shí)應(yīng)及時(shí)反應(yīng)給部門(mén)負(fù)責(zé)人7.10靜電手環(huán)（腳環(huán)）檢驗(yàn).7.10.1 測(cè)試方法7.10.1.1 將有線靜電環(huán)內(nèi)部金屬片緊貼檢驗(yàn)者手腕上 ,7.10.1.2 靜電環(huán)鱷魚(yú)夾子與靜電儀夾子相交 (手不要觸碰夾子相結(jié)處 , 以 免測(cè)試不準(zhǔn)確 )7.10.1.3 另一只手按下“ PRESS HER”E 檢測(cè)結(jié)果如下 :中間綠燈亮(GooD且有響聲：靜電環(huán)回路檢測(cè)正常左邊紅燈亮 (HIGH)：靜電環(huán)阻抗偏高右邊紅燈亮 (LoW)：靜電環(huán)阻抗偏低7.10.2 作業(yè)規(guī)范7.10.2.1 靜電

14、手環(huán)的佩戴和檢測(cè)時(shí)內(nèi)部金屬片必須緊貼皮膚 .7.10.2.2 靜電環(huán)在作業(yè)當(dāng)中嚴(yán)禁擅自借給他人使用 .7.1023 每次檢測(cè)前，請(qǐng)先用800Kohm和10Mohn標(biāo)準(zhǔn)電阻件對(duì)其靜電環(huán)測(cè)試儀進(jìn)行驗(yàn)證 .7.11 導(dǎo)電鞋檢驗(yàn) .7.11.1 測(cè)試方法7.11.1.1 先將兩腳站于踏板上 , 按下測(cè)試按鈕 .7.11.1.2亮綠燈(PASS)時(shí),表示導(dǎo)電鞋良好.7.11.1.3 亮紅燈(HI-FAIL)或紅燈(LOW-FAIL)時(shí)，表示導(dǎo)電鞋不良應(yīng)立即更換.HI FAIL: R > 35MPASS: 750K R 35MLo FAIL:RV 750K7.11.2作業(yè)規(guī)范7.11.2.1導(dǎo)電鞋檢測(cè)時(shí)，請(qǐng)勿將鞋子濕水，以免測(cè)試不準(zhǔn)確.7.11.2.2 所有人員（包括來(lái)賓）進(jìn)入EPA生產(chǎn)車(chē)間時(shí)必須做導(dǎo)電鞋檢測(cè)否則嚴(yán)禁入內(nèi).7.11.2.3導(dǎo)電鞋檢測(cè)