單晶硅電池生產(chǎn)工藝

1、1 化學(xué)清洗化學(xué)清洗原片分揀去損傷層制作絨面鹽酸清洗2 擴(kuò)散刻蝕擴(kuò)散刻蝕擴(kuò)散制結(jié)刻蝕去邊去PSG層3 制減反膜制減反膜PECVD設(shè)備4 印刷電極印刷電極5 燒結(jié)燒結(jié) 6 分選分選印刷正極印刷背場(chǎng) 印刷負(fù)極 把正負(fù)極和硅片燒在一起以便導(dǎo)電APCVD設(shè)備或手工噴涂 印刷視頻 清洗工藝1 原片分揀 （1）根據(jù)電阻率把電池分類。硅片常見電阻率分類0.5-6，0.5-3 ，3-6 。 （2）把藏片，厚片，薄片，缺損片，厚度不均勻片取出2 去損傷層：Si+2NaOH（30%）+H2O Na2SiO3 +2H2 ， 原叫減?。ㄔ瓉?lái)硅片太厚，300m,目前18020 m ）。思考：為什么硅片厚度會(huì)由300降低

2、到180？3 制絨 Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H2O Na2SiO3 +2H2 ，溶液中加有酒精或異丙醇，增加各向異性引子，加速形成金字塔。85左右，時(shí)間10-50分鐘 4 鹽酸洗（V濃鹽酸：V水=1:6） 或鹽酸（37%）雙氧水（30%）混合洗（II號(hào)清洗液）（ V濃鹽酸： V雙氧水：V水=1：1：6） 85左右，清洗5-20分鐘。鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作用，氯離子能與 Pt 2+、 Ag+、Cd2+、Hg2+等金屬離子形成可溶于水的絡(luò)合物。5 HF洗（VHF:V水=1：10），室溫, 5-10分鐘。有些廠家不用。返回首頁(yè)兩張多晶硅絨面顯微照片擴(kuò)散POCl3在高溫下（600）

3、分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式如下如果氧氣充足， PCl5能和氧繼續(xù)反應(yīng)生成Cl2和P2O5。為了避免產(chǎn)生PCl5，應(yīng)通入適量氧氣。等離子刻蝕硅擴(kuò)散后硅片表面有磷硅玻璃產(chǎn)生。SiO2混合P和P2O5。用HF清洗掉表面的磷硅玻璃。HF和水體積比1:10 偏磷酸 返回首頁(yè)OHHCTiOHOHHOCTi5244245244OHTiOTiOH22442返回首頁(yè)返回首頁(yè)紅外加熱燈管 鹵鎢燈縱向溫度分布曲線 橫向溫度的穩(wěn)定性連續(xù)和非連續(xù)放片返回首頁(yè)一個(gè)燒結(jié)爐的溫區(qū)溫度返回首頁(yè)2.3去磷硅玻璃去磷硅玻璃3制減反膜制減反膜4.1背電極印刷背電極印刷4.2背場(chǎng)印刷背場(chǎng)印刷4.3正

4、面電極印刷正面電極印刷5燒結(jié)燒結(jié) 清洗前檢測(cè)(據(jù)厚度、 電阻率等分揀，分揀儀器)刻蝕結(jié)果檢測(cè)(萬(wàn)用表)減反膜檢測(cè)(橢偏儀)2.2刻蝕機(jī)刻蝕機(jī)3清洗結(jié)果檢測(cè)(反射儀, 顯微鏡) 水質(zhì)監(jiān)測(cè)(電導(dǎo)率儀) 化學(xué)品稱量(一般電子秤)1清洗機(jī)一套清洗機(jī)一套2.1擴(kuò)散爐擴(kuò)散爐2擴(kuò)散結(jié)果檢測(cè)(方塊電阻測(cè)試儀) 環(huán)境監(jiān)測(cè)(塵埃粒子計(jì)數(shù)器)6分選分選爐溫測(cè)試儀 歐姆接觸測(cè)試儀漿料用量稱量(高精度電子秤)4印刷印刷液氮和液氧儲(chǔ)罐液氮和液氧儲(chǔ)罐CF4儲(chǔ)罐儲(chǔ)罐硅烷氨氣儲(chǔ)罐硅烷氨氣儲(chǔ)罐 + 硅烷燃燒塔硅烷燃燒塔返回首頁(yè)1 車間環(huán)境要求 擴(kuò)散要求最高，10000級(jí)，即每立方英尺中粒徑0.5微米的粒子不超過10000個(gè)。（美

5、國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)為ISO14644）。建議把車間所有工序凈化等級(jí)設(shè)置為10000級(jí)。2 地區(qū)大氣環(huán)境 （1）塵埃粒子與凈化成本；空氣循環(huán)送風(fēng)。 （2）鈉離子對(duì)半導(dǎo)體器件的危害 洛杉磯每立方大氣中1013鈉離子。 直徑0.1微米的NaCl粒子，潮解后會(huì)擴(kuò)展為直徑50微米的圓面積，相當(dāng)于64k存儲(chǔ)器一半的面積。 鈉等金屬離子在硅材料中是有效的復(fù)合中心，它們會(huì)降低電池的電性能。鈉離子的可移動(dòng)性會(huì)降低組件的壽命，是組件衰減過快。 做一個(gè)優(yōu)秀的技術(shù)人員需要具備的東西：1 熟悉所用到的所有的化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)。HF，H2SO4，雙氧水，鹽酸，氫氧化鈉，酒精，異丙醇，三氯氧磷，去離子水，硅烷，氨氣，四氟化碳2 盡可能掌握每個(gè)工序的細(xì)節(jié)（比如印刷）3 熟悉所用到的器具及材料的物理化學(xué)性質(zhì)（比如片架（花籃）聚四氟乙烯，漿料）4 勤于思考，能發(fā)現(xiàn)新問題，解決新問題最好熟悉電池生產(chǎn)線中所有的東西。比如純水制造，硅烷燃燒塔，酸氣處理裝置等。推薦幾本書： 硅及其氧化物的電化學(xué) 太