微納米幾何量計(jì)量器具-編制說明

1、附件 2：編 號(hào)國家計(jì)量技術(shù)法規(guī)項(xiàng)目編制說明項(xiàng)目名稱微納米幾何 量計(jì)量器具制定或修訂制定歸口單位全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)主要起草單位中國計(jì)量科學(xué)研究院起止年限2020 年 1 月2020 年 12 月2019年11月30 日編制說明根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局計(jì)量函【 2019】42 號(hào)市場監(jiān)管總局計(jì)量司關(guān)于國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制定、修訂及宣貫計(jì)劃有關(guān)事項(xiàng)通知，受全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)的委托，由中國計(jì)量科學(xué)研究院負(fù)責(zé)制定微納米幾何量計(jì)量器具量值傳遞表的工作。隨著科技水平的不斷發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí)， 微納米幾何結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確計(jì)量已經(jīng)成為制約國家重大領(lǐng)域關(guān)鍵部件研發(fā)、 微納米產(chǎn)業(yè)貿(mào)易交接的重要前提。

2、目前，我國在微納米幾何量計(jì)量方面尚未形成一套完整的、可覆蓋全量值范圍內(nèi)溯源的體系，相關(guān)規(guī)程也屬空白。由于測量原理不同， 各類微納幾何結(jié)構(gòu)測量儀器測量結(jié)果的一致性難以保障，而產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和大量計(jì)量檢測需求表明， 目前迫切需要建立一套具有完整溯源連條、 覆蓋多種測量原理的微納米幾何量計(jì)量器具作為基準(zhǔn)， 以滿足全國范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求。而經(jīng)過多年積累和努力， 中國計(jì)量科學(xué)研究院在基于各種原理的微納幾何量計(jì)量溯源方法、 裝置、量值傳遞路線與知識(shí)技術(shù)等方面的積累日趨完善，其中多項(xiàng)計(jì)量能力通過了 CMC 的國際同行評(píng)審以及 CNAS 認(rèn)證，在國際比對(duì)中也取得了較為滿意的比對(duì)結(jié)果，完全具備

3、制定技術(shù)規(guī)范的能力， 建立一套完整的微納米幾何量計(jì)量鏈條的時(shí)機(jī)已經(jīng)逐漸成熟，特此提出本法規(guī)。本計(jì)量法規(guī)主要從三個(gè)層級(jí)規(guī)定了微納米幾何量計(jì)量器具的溯源及量值傳遞體系，包括：1. 描述微納米幾何量計(jì)量基準(zhǔn)及相關(guān)內(nèi)容；2. 描述微納米幾何量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及相關(guān)內(nèi)容；3. 描述微納米幾何量工作計(jì)量器具及其相關(guān)內(nèi)容；在此基礎(chǔ)上，制定微納米幾何量計(jì)量器具溯源系統(tǒng)框圖， 明確量傳關(guān)系、涉及的參量、測量范圍及不確定度。本法規(guī)制定后，將滿足全國范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求，對(duì)于規(guī)范相關(guān)行業(yè)中微納米幾何量測量方法及量傳體系具有約束作用。本法規(guī)既可完善我微納米幾何量量傳體系， 又可滿足相關(guān)行業(yè)的發(fā)展需求， 對(duì)于提高我國產(chǎn)品質(zhì)