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生產(chǎn)名詞與常識介紹 Feb 2009 生產(chǎn)效率課 1 Index 半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通名次產(chǎn)能相關(guān)的名詞Capacity計算原理產(chǎn)能的影響因素生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標(biāo)的定義及管控生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標(biāo)CVP OTD CT的定義CVP CT的管控CT output與WIP Capacity的關(guān)系OEE優(yōu)先級yield 2 第一章半導(dǎo)體廠基礎(chǔ)生產(chǎn)類名詞 3 1 1生產(chǎn)流通名詞 WIP 在制品 waferinprocess的縮寫EffectiveWIP 在線 不含customerhold 圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片BUFFER 某設(shè)備大類前等待加工產(chǎn)品的數(shù)量 不含RUN的產(chǎn)品 不含HOLD MOVE 圓片的制程步驟移動數(shù)量 一個圓片在PROMIS流程中每移動一步為一個MOVE有效MOVE 在線 不含customerhold 圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片產(chǎn)生的MOVEStage 同一制程目的的step合起來稱為一個stage Turnratio 周轉(zhuǎn)率 Move與WIP的比值 衡量流通速度的指標(biāo) Move WIPREPSTAGE 基本按光刻層次劃分 一層光刻表示一個REPSTAGE 部分特殊 WAITTIME 指當(dāng)前步驟前等待時間 不含HOLDHOLDTIME 最近一次發(fā)生HOLD后的時間FABOUT 入B ship的外部訂單數(shù)量 流程單 也稱RUNCARD 記錄圓片的加工步驟和要求 在流片過程中要嚴(yán)格遵循流程單上的工藝步驟和要求 4 1 2產(chǎn)能相關(guān)名詞 SOP StandardOperationProcedure 標(biāo)準(zhǔn)操作程序SPT standardprocesstime 在適宜的操作條件下 采用標(biāo)準(zhǔn)操作方法 以普通熟練工人的正常速度完成標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)所需的時間 一般指作業(yè)一個Batch需要的時間 BATCH 一次生產(chǎn)量 一次操作所生產(chǎn)的數(shù)量 設(shè)備每個RUN的圓片數(shù)量 WPH waferperhour 機臺每小時之圓片產(chǎn)出量 用來衡量設(shè)備的產(chǎn)出速率WPH BATCH SPTCapacity 產(chǎn)能 設(shè)備目標(biāo)OEE條件下按照SPT計算單位時間內(nèi)的理論產(chǎn)出數(shù)量Capacity day WPH 24 OEEtarget 5 1 3Capacity 計算原理 Loading最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組 FABCapacity一般用光刻層數(shù) layer數(shù) 表示 6 1 4Capacity 影響產(chǎn)能的因素 F x Equipment Uptime Available Set Efficiency ProcessType Recipe SPT WPH Frequency Productmix TotalFrequency Capacity Yield FABYield97 PhotoReworkrate95 7 第二章生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標(biāo)定義及管控 8 index 生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)CVP OTD CT定義CVP CT管控CT output與WIP Capacity的關(guān)系及管控OEE優(yōu)先級系統(tǒng)Yield 9 1 1生產(chǎn)的概念 生產(chǎn)定義 狹義 投入一定的資源 經(jīng)過一系列 多種形式的變換 使其價值增值 最后產(chǎn)出消費產(chǎn)品的過程廣義 系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能夠從更抽象 更高的角度來認(rèn)識和把握各種現(xiàn)象的共性 把有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和無形產(chǎn)品服務(wù)的提供過程都看作一種 投入 變換 產(chǎn)出 的過程 作為一種具有共性的問題來研究 10 2 1生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)管理 對生產(chǎn)運作過程進(jìn)行計劃 組織 指揮 協(xié)調(diào) 控制和考核的一系列管理活動 生產(chǎn)管理現(xiàn)場管理工程技術(shù)管理任務(wù) 對生產(chǎn)管理活動按職能分類 現(xiàn)場管理 最大限度地激活人 物 設(shè)備的作用 在每道工序保證完美質(zhì)量的前提下追求高效率化狹義生產(chǎn)管理 為了達(dá)到按用戶要求 采用合適 不浪費 經(jīng)濟的方式 生產(chǎn)已開發(fā) 設(shè)計的產(chǎn)品并提供給用戶這一目的所做的各項計劃 管理工作 工程技術(shù)管理 為了完成效率良好的Q D C而進(jìn)行的產(chǎn)品設(shè)計 工程設(shè)計和生產(chǎn)設(shè)備管理 生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標(biāo) 實現(xiàn)企業(yè)的總體經(jīng)營目標(biāo)Q Quality 質(zhì)量 D Delivery 進(jìn)度 C Cost 成本 保證與提高質(zhì)量 適時適量將產(chǎn)品投放市場 降低產(chǎn)品成本 D Delivery 進(jìn)度 包含產(chǎn)量 速度兩層含義 生產(chǎn)運作管理的作用與意義 生產(chǎn)運作過程是企業(yè)創(chuàng)造價值與利潤的主要環(huán)節(jié) 生產(chǎn)運作管理是企業(yè)經(jīng)營的基本職能 生產(chǎn)運作管理是企業(yè)增強竟?fàn)幜Φ脑慈?11 2 2生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo) 生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)管理 現(xiàn)場管理 工程技術(shù)管理 指標(biāo) OTD CVPCTOUTPUTYield 生產(chǎn)計劃生產(chǎn)控制成本物料管理產(chǎn)能管理 工作標(biāo)準(zhǔn)化 PDCA循環(huán)管理模式 OEE 實踐活動 優(yōu)先級系統(tǒng) 12 3 1OTD CVP CT定義 OTD 準(zhǔn)時交貨率 OnTimeDeliver CVP 定單數(shù)量的準(zhǔn)時交付 入庫 率 ConfirmVolumePerformance CVP 實際準(zhǔn)時入庫數(shù)量 定單要求入庫數(shù)量 100 CT 流通周期 CycleTime 即自投料到入庫的時間CT 入庫時間 CustomerHold時間 投料時間CT layer 自投料到入庫的實際流通時間 layer數(shù) 13 3 2OTD CVP CT管控 OTD運作控制工具 Dailyreview OTD CT控制工具 WAFERIN WAFERSTARTPOLICY WAFEROUT交期控制 WAFEROUT 生產(chǎn)目標(biāo)達(dá)成 LONGSTAYCONTROL 派貨 1 CapacityImprove2 優(yōu)先級系統(tǒng) 1 WIP數(shù)量及WIP分布的管控2 產(chǎn)能大小及穩(wěn)定性管控 14 3 3CT output與WIP Capacity的關(guān)系及管控 Output layer day WIP CT layer 當(dāng)WIP大于某個值時 Output layer day Capacity layer day 此時CT layer WIP Capacity layer day CT output改善 1 控制WIP在合理水平2 努力提升靜態(tài)瓶頸設(shè)備產(chǎn)能3 保證設(shè)備穩(wěn)定性 減少工藝限制 以減少動態(tài)瓶頸 15 OEE OverallEquipmentEffectiveness 即總體設(shè)備效率 OEE是一個全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指標(biāo) 4 1OEE 定義 16 Unworrieddays holidays Installation rebuildorupgrade Processexperiments Repair PM Changeofconsumable Regularproduction Noproduct Rework Nooperator 02state EngineeringLots TotalTime Non Scheduled Time Working Time Uptime Downtime Engineering Time Available Time Productive Time Idle Time Unscheduled Downtime DOWN Scheduled Downtime PM QC Time 4 2基本概念 OEE 時間組成 17 4 3基本概念 OEE 計算公式 OEE Available Efficiency Usedofavailable 注 1 按照TOC 約束理論 提高瓶頸設(shè)備的Usedofavailable 就是提高生產(chǎn)率 2 由于每個時期過片需求不同 導(dǎo)致Usedofavailable 數(shù)值不同 因此 我們也會把Usedofavailable 當(dāng)100 的OEE數(shù)值 定為設(shè)備的目標(biāo)OEE 3 Usedofavailable 相當(dāng)于機臺Loading 即機臺負(fù)載 因此計算設(shè)備產(chǎn)能時 會將設(shè)備OEE中的Usedofavailable 100 來反推機臺的Loading 18 確定當(dāng)前的瓶頸設(shè)備要搜集足夠的數(shù)據(jù) 尤其需要實時的 精確的數(shù)據(jù)成立一個跨部門的OEE專案小組分析數(shù)據(jù) 找出根本原因 提出改進(jìn)措施 達(dá)成效果分析 推動Action執(zhí)行 鼓勵設(shè)備供應(yīng)商的參加 4 4OEE實施 19 5 1優(yōu)先級系統(tǒng) 優(yōu)先等級 按理論剩余流通周期 加調(diào)整天數(shù) 與剩余交貨時間差數(shù)大小 或者市場定單需求緊急程度 對園片加工先后順序給予的等級 優(yōu)先等級 資源有限的前提下 為更有效的完成生產(chǎn)目標(biāo) OTD output linebalance keycustomer等 對圓片的加工順序給予的等級 是一個資
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